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提高類金剛石碳膜與鎂鋰合金基底結合力的方法

1066   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:58:42
本發明提供一種提高類金剛石碳膜與鎂鋰合金基底結合力的方法，其包括對鎂鋰合金基底預處理及在鎂鋰合金基底上制備類金剛石碳膜。主要工藝步驟：(1)將鎂鋰合金板材制成標準試樣；(2)試樣經砂紙打磨、拋光機拋光后，表面呈現鏡面效果，再經去離子水、無水乙醇超聲清洗，干燥后放入真空室；(3)達到本底真空度后，通入工作氣體氬氣(Ar)和氫氣(H2)，在激勵電場作用下激發成等離子態，然后在偏壓條件下對鎂鋰合金表面進行刻蝕，構造微粗糙表面；(4)通入反應氣體乙炔(C2H2)和四甲基硅烷(TMS)，沉積硅摻雜類金剛石碳膜(Si?DLC)；(5)沉積結束后，經自然冷卻后取出樣品。通過本發明可以得到與鎂鋰合金基材具有良好結合力的類金剛石碳膜，進而提升鎂鋰合金表面耐磨強度，增長鎂鋰合金使用壽命。
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“提高類金剛石碳膜與鎂鋰合金基底結合力的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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