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生長Φ5英寸鉭酸鋰單晶的方法

987   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:49:25
本發明涉及一種生長大尺寸(Φ5英寸)鉭酸鋰單晶的方法,尤其是使用銥坩堝在保護性氣氛下來進行大尺寸鉭酸鋰單晶提拉法(Czochralski)的生長技術。該方法在拉晶過程中用銥坩堝取代了鉑坩堝,該方法生長的鉭酸鋰單晶性能指標如下:直徑為Φ127mm,長度大于50mm,生長方向為:X112、Y36,質量達到制造聲表面波器件對鉭酸鋰單晶質量的要求,成品率>75%。
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“生長Φ5英寸鉭酸鋰單晶的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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