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鋰電池SiCO-Si梯度薄膜電極體系及制備方法

900   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:46:45
本發明公開了一種鋰電池SiCO-Si梯度薄膜電極體系，包括單晶硅基板，單晶硅基板上自下而上依次設有TiN阻擋層、Al薄膜層、SiAlCO薄膜層、SiCO薄膜層、SiO1/3薄膜層和Si薄膜層。本發明通過將SiCO和硅這兩種極具潛力的負極材料相結合，通過比容量和力學性質的梯度設計，綜合體現出材料各自的優點并相互彌補不足。采用磁控濺射方法和硅、鋁、石墨等靶材制備薄膜體系，具有附著性好、成本低、成份可控和低溫等優點；還通過對SiCO表面進行納米化處理，進一步加強了鋰擴散和界面結合強度，最終得到具有優異電化學特性和界面力學性能的新型薄膜電極體系，且化學腐蝕法制備SiCO納米表面具有過程簡單快捷、無需貴重儀器、原料豐富廉價、納米形貌可控等優點。
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