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垂直溫梯法生長鋁酸鋰和鎵酸鋰晶體

677   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:46:45
一種垂直溫梯法生長鋁酸鋰(LiAlO2)和鎵酸鋰(LiGaO2)晶體。 垂直溫梯法是從熔體的底部結晶, 固液界面自下而上移動生長晶體的一種方法。 所用的溫梯爐是鐘罩式真空電阻爐。溫梯爐內生長晶體的坩堝是底部有籽晶槽, 頂端有蓋。周圍加熱體外有保溫屏。坩堝內加入按(1+x)∶1(x=0～0.1)配比的 高純粉料經混合壓塊成型后裝入。用垂直溫梯法生長LiAlO2和LiGaO2晶 體克服了熔體組分揮發的問題, 可以生長出作為GaN基藍光襯底的大面積的 LiAlO2和LiGaO2晶體。
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加工技術
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