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含有摻雜工藝的銅鋅錫硫薄膜制備方法

839   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:32:59
一種含有摻雜工藝的銅鋅錫硫薄膜制備方法，涉及光電材料及新能源材料領域，該方法可以有效解決銅鋅錫硫薄膜太陽能電池吸收層即銅鋅錫硫薄膜的結晶性較差的問題，其步驟包括：a、提供一襯底；b、將銅、鋅、錫三種金屬沉積在襯底上，形成金屬前軀體；c、在金屬前軀體上沉積含有銻元素的膜層作為摻雜層；d、將金屬前軀體及摻雜層在含硫的氣氛下熱處理，此過程中硫元素與銅鋅錫形成銅鋅錫硫薄膜。該方法改善了銅鋅錫硫的結晶性，降低了結晶溫度，提高了薄膜的質量，同時還降低了工藝難度和成本，具有很好的推廣利用價值。
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