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用于鋰電池的氮化錫/硅負極材料及其制備方法

766   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:31:41
本發明屬于新能源鋰電池負極材料技術領域，具體的說，涉及一種用于鋰電池的氮化錫/硅負極材料及其制備方法，所述的制備方法包括：(1)在片層狀的多晶硅片表面噴涂碳化硅粉末，形成高度為5?10μm的凸起結構；(2)在步驟(1)的多晶硅表面沉積形成納米氮化錫薄膜；(3)施加包含四氟化碳、氮氣和氬氣的氣體混合物形成的高密度等離子體蝕刻步驟(2)中的多晶硅表面，即得所述的氮化錫/硅負極材料；本發明提供的氮化錫/硅負極材料，通過噴涂在多晶硅片表面的碳化硅顆粒及沉積形成的納米氮化錫薄膜形成了復合的骨架結構，結合碳化硅具有較小的熱膨脹系數，導熱性能良好，有效的減小了硅負極材料的體積效應。
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