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用于制作化學氣相沉積生長多晶硅的硅芯專用切割設備及加工方法

800   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:19:42
本發明涉及的一種用于制作化學氣相反應沉積生長多晶硅的硅芯專用金剛石外圓切割機及其加工方法。屬新能源及新材料技術領域。本發明將多晶硅棒料安裝固定在金剛石外圓切割機中，同時對多根多晶硅棒料進行切割制取硅芯，先將多晶硅棒料切割成多晶硅片料，再將多晶硅片料切割成條狀硅芯，切割完畢，可以同時得到多根硅芯。采用本發明提供的硅芯制備方法其生產效率明顯高于其它制備方法，且在整個切割過程中，所用切割冷卻液為自來水或脫鹽水，不需要專門配制切割漿料，將切割冷卻液經簡單處理后進行循環使用，整個生產過程產生的廢物僅為硅渣，不會對環境產生不利影響。
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“用于制作化學氣相沉積生長多晶硅的硅芯專用切割設備及加工方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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