超薄石墨片作襯底的碲化鎘太陽電池,屬于新能源材料與器件領域。本發明采用柔性超薄石墨片作為襯底材料,在石墨片上濺射一層銅,進行熱處理。銅擴散進入石墨形成摻銅石墨片。在摻銅石墨片上沉積一層碲,再沉積碲化鎘并進行退火處理。在碲化鎘的沉積及退火處理過程中,在石墨片和碲化鎘之間形成重摻雜的CUXTE層而實現柔性石墨襯底與碲化鎘之間的歐姆接觸。然后依次沉積硫化鎘、透明導電薄膜和柵狀鋁電極獲得柔性碲化鎘薄膜太陽電池。本發明解決了制備高效柔性碲化鎘電池所需的較高工藝溫度與常規柔性襯底耐受溫度低的矛盾。
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