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應用于高溫化學氣相沉積爐上的絕緣密封結構

1178   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 18:03:16
本實用新型公開一種應用于高溫化學氣相沉積爐上的絕緣密封結構，中頻感應化學氣相沉積爐是制備碳/碳復合材料的常用設備。重要部位的絕緣和氣密性是設備運行的前提，感應線圈外部接口處的密封和絕緣是設備安全運轉的關鍵。本實用新型通過采用環氧玻璃纖維絕緣連接件、環氧玻纖板等絕緣材質交替使用來保證良好的絕緣性，通過長短四氟管交替使用，中間還夾有耐高溫橡膠墊圈，相互之間用耐高溫硅酮密封膠來連接，最后用銅制螺母壓實壓緊來保證良好的密封性。
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“應用于高溫化學氣相沉積爐上的絕緣密封結構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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