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化學氣相沉積爐流場控制裝置

871   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 17:58:25
本實用新型涉及化學氣相沉積法制備碳碳復合材料的設備技術領域，具體涉及一種化學氣相沉積爐流場控制裝置。它裝配于沉積爐內，包括設置于沉積爐的爐底的進氣口上方的混流器，所述混流器的頂部連接導流柱，所述導流柱上設置有與其同軸并位于其中上部的擋板，分氣板位于所述導流柱下部空間并與所述混流器頂部重合，不同類型的產品根據尺寸大小由小到大、由內至外依次放置于所述分氣板上；所述分氣板將沉積爐分為至少一層，碳源氣體和載氣在所述混流器處發生混合后經所述分氣板分流，從第二層開始由所述導流柱的頂部通孔補氣。本實用新型提出的裝置裝配簡單，增加了裝爐產品的種類和數量，提高生產質量和生產效率。
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