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硅純化裝置及硅純化方法

912   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 17:16:24
本發明的硅純化裝置的第1實施方式為一種硅純化裝置，該裝置在減壓容器內具備能夠保持熔融硅(2)的坩堝(1)、能夠設置在坩堝(1)上方的保溫蓋(5)、以及對熔融硅(2)進行加熱的加熱裝置(3)，其中，在坩堝(1)的側面外周部具有第1絕熱材料(4)，保溫蓋(5)為碳氈制板狀構件(502)，在其至少兩個主面上具有碳復合材料(501a，501b)，保溫蓋(5)形成貫通其兩個主面之間的開口部(6)，在保溫蓋(5)設置于坩堝(1)上面的狀態下，設置保溫蓋(5)的坩堝(1)側主面的碳復合材料(501a)，使其覆蓋第1絕熱材料(4)的上面。
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