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化學氣相滲透增密用多料柱式工業爐

758   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 16:58:00
一種化學氣相滲透增密用多料柱式工業爐,包括爐蓋、爐體和爐座,所述爐蓋、爐體連接為一體,在所述爐蓋、爐體中設有保溫罩組成鐘罩式結構而整體坐裝在所述爐座上;在所述爐座上設有三根或六根同圓周均布的立桿式發熱體,在所述保溫罩內設有與所述發熱體數量相匹配的料柱室,所述料柱室上設置有布氣環。本發明結構合理、能耗小、產能高,采用內熱式多發熱體三相平衡組合式結構,爐子結構緊湊節能。有效掌控熱梯度,實現相關物理場的耦合,提高CVD質量和效率。采用多層式預熱環式旋流供氣,提高反應室氣氛均勻度。采用獨立反應室的多料柱裝料,大大擴大爐子產能和提高熱效率。適用于制備C/C復合材料剎車盤及炭/陶復合材料環形多工件的增密。
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