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抗電磁干擾型熱導式氣體傳感器芯片及其制備方法

758   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 16:53:48
本發明公開了一種抗電磁干擾型熱導式氣體傳感器芯片，包括：基底、沉積在基底上的電阻條、涂覆在電阻條上的絕緣層、涂覆在絕緣層上的敏感復合材料、與電阻條焊接連接的引線?；诪樵簧L的多孔狀三氧化二鋁；電阻條呈雙線盤旋狀；絕緣層材料為三氧化二鋁納米級陶瓷超細粉末，敏感復合材料為碳納米管/石墨烯/三氧化二鋁三元復合材料。同時，本發明還提供了一種抗電磁干擾型熱導式氣體傳感器芯片的制備方法。本發明充分利用三元復合材料的比表面積高和熱穩定性強的特性、雙線盤旋狀電阻條具有削減外部電磁場對芯片電流干擾的作用，使傳感器芯片具有良好的熱交換效率和穩定性，達到縮短響應時間、提高檢測精度的目的。
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