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半導體器件及其制造方法

887   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 16:53:47
本發明提供一種半導體器件及其制造方法，所述方法包括：提供具有NMOS區和PMOS區的半導體襯底，在其上形成有柵極結構，且在柵極結構的頂部和側壁形成有柵極硬掩蔽層；在半導體襯底上形成完全覆蓋柵極結構的硬掩膜層；在PMOS區形成嵌入式鍺硅層，在柵極結構的側壁和/或頂部形成由柵極硬掩蔽層、硬掩膜層和新生材料層構成的復合材料層疊結構；去除位于NMOS區的部分復合材料層疊結構，直至露出半導體襯底；去除所述復合材料層疊結構的剩余部分，僅在柵極結構的兩側留有部分柵極硬掩蔽層。根據本發明，在PMOS區形成嵌入式鍺硅層后，可以有效去除NMOS區的復合材料層疊結構，擴大了后續硅化工藝和接觸孔工藝窗口，提高了產品良率。
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