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低發射率復合材料及制備方法

1164   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 16:23:03
本發明提供一種低發射率復合材料及其制備方法，具體地說是一種用氮化鈦與金屬摻雜的復合材料及制備方法。具體是采用磁控反應濺射法，濺射氣體為氬氣，反應氣體為高純氮氣，設備使用一臺雙靶磁控濺射鍍膜機，首先在基材上磁控反應濺射沉積一層的氮化鈦（TiN），再沉積一層銅（Cu）,再沉積一層的氮化鈦（TiN），如是一個周期，重復上述步驟至少在基材上反應濺射兩個周期，最終形成基材/TiN/Cu（Al）/TiN/Cu（Al）/TiN。
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