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多晶硅氫化爐用碳/碳復合材料加熱帶結構

956   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:28:02
本實用新型涉及一種多晶硅氫化爐用碳/碳復合材料加熱帶結構，該加熱帶 結構包括石墨頭，石墨墊塊、碳/碳復合材料加熱帶和緊固螺栓，所述碳/碳復合 材料加熱帶整體彎制成拱門形，碳/碳復合材料加熱帶的兩個端頭被石墨頭和石 墨墊塊夾持，并通過緊固螺栓固定，所述碳/碳復合材料加熱帶的截面形狀為折 角形或弧形。本實用新型多晶硅氫化爐用碳/碳復合材料加熱帶結構的有益效果 是，折角形或弧形的橫截面型式增加了加熱帶的抗彎模量，有效防止了由于加 熱帶彎曲、倒伏產生的電極短路現象，同時能夠起到對氣體的引流作用，使氣 體沿加熱帶向上運動，延長了混合氣體在氫化爐內的反應時間，提高了SiHCl3 的產率，保證設備的穩定運行。
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