本發明公開了一種具有碳化硅涂層的炭炭復合材料坩堝及制備方法,包括炭炭復合材料坩堝本體以及覆蓋于炭炭復合材料坩堝內表面的碳化硅涂層,所述的碳化硅涂層由含硅溶液涂敷于坩堝內表面經高溫熱處理而制得。具體制備方法為:在炭炭復合材料坩堝本體的內表面進行含硅溶液的涂刷,所得含涂覆層的坩堝于濕度小于50RH%的環境下靜置,再進行高溫熱處理即得具有碳化硅涂層的炭炭復合材料坩堝。本發明通過在坩堝內表面進行含硅溶液涂層處理和高溫熱處理得到碳化硅涂層,有效地改善了坩堝的表面狀態,避免了高溫下硅蒸汽、含硅氣體及石英坩堝對炭炭復合材料坩堝的反應侵蝕,從而延長了炭炭復合材料坩堝的使用壽命。
聲明:
“具有碳化硅涂層的炭炭復合材料坩堝及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)