一種基于多場耦合的鐵電材料減薄加工方法,鐵電材料表面減薄加工時施加反向電場,反向熱場和化學場多場耦合作用,所述方法包括以下步驟:(1)表面加工鐵電材料,砂輪以ns的轉速,f的進給速度對鐵電材料進行加工,鐵電材料的轉速是nw;(2)加工時施加反向電場,反向熱場和化學場,電場,熱場和化學場交互作用。本發明提供一種提高加工效率的基于多場耦合的鐵電材料減薄加工方法。
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