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VO2合金半導體薄膜及制備方法和應用

1311   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:11:01
本發明提供了合金半導體薄膜及制備方法和應用，該合金半導體薄膜的化學式為HfxWyV1?x?yO2，其中，0＜x＜1，0＜y＜1，本發明的合金半導體薄膜，利用HfO2的帶隙(5.5eV)大于VO2的帶隙(2.6eV)，使用Hf4+離子部分取代V4+離子，來提高VO2的光學帶隙有效地提升薄膜的可見光透過率。同時，W離子為+6價，在VO2中摻入W6+離子相當于引入了載流子，載流子引入越多，越容易驅動電子相變的發生，因此降低了相變溫度，選擇Hf4+離子和W6+離子部分取代V4+離子制備了HfxWyV1?x?yO2合金體系從而實現了VO2的高可見光透過率和對其相變溫度的調節。
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