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有機薄膜晶體管及其制備方法

1339   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:11:01
本發明公開了一種有機薄膜晶體管，包括Si基板，其特征在于：所述Si基板的背面設置柵電極，所述Si基板的正面設置有單層或者多層有機柵絕緣膜，所述有機柵絕緣膜的上端蒸鍍有漏電極和源電極，所述漏電極、源電極和有機柵絕緣膜的表面覆蓋有有機半導體膜。該晶體管引入了有機絕緣層，代替傳統的SiO2絕緣層，降低了工藝溫度，簡化了制作過程，可在常溫下制備，并且適合大面積器件的制作。
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聲明：
“有機薄膜晶體管及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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