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有機薄膜晶體管及其制備方法

1339   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 15:11:01
本發明公開了一種有機薄膜晶體管,包括Si基板,其特征在于:所述Si基板的背面設置柵電極,所述Si基板的正面設置有單層或者多層有機柵絕緣膜,所述有機柵絕緣膜的上端蒸鍍有漏電極和源電極,所述漏電極、源電極和有機柵絕緣膜的表面覆蓋有有機半導體膜。該晶體管引入了有機絕緣層,代替傳統的SiO2絕緣層,降低了工藝溫度,簡化了制作過程,可在常溫下制備,并且適合大面積器件的制作。
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