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激光輔助低溫生長氮化物材料的方法與裝備

1271   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:11:01
本發明公開了一種激光輔助低溫生長氮化物材料的方法及裝備，該方法將非氮元素的前驅體蒸汽和活性氮源前驅體氣體分別輸送到反應腔室內溫度為250至800℃的襯底材料處，利用波長與活性氮源分子鍵共振波長相等的激光束作用于活性氮源氣體，使激光能量直接耦合至活性氮源氣體分子，加速NH鍵的斷裂，提供充足的活性氮源，使非氮元素與活性氮源發生化學反應，沉積第III族氮化物膜層材料，持續作用直到沉積物覆蓋整個襯底并達到所需厚度。裝備包括真空反應腔、氣體預混合腔、波長可調諧激光器和移動機構。本發明在提高活性氮源利用率和減少環境污染的基礎上，實現低溫環境下氮化物膜層材料的大面積、快速和高質量生長。
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