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抗氣體干擾型MEMS氣體傳感器及制備方法

1419   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:11:01
本申請揭示了一種抗氣體干擾型MEMS氣體傳感器及制備方法，該方法包括：在氧化層的表面沉積形成一層金屬電極層；利用化學氣相沉積法，在金屬電極層的表面沉積一層絕緣層；在絕緣層表面沉積一層氣敏材料層；利用涂布或印刷的方式，在氣敏材料層表面沉積一層分離膜，分離膜的納米通道的孔徑小于干擾氣體分子的運動直徑。本申請通過在制作MEMS氣體傳感器時，增加了分離膜，該分離膜的納米通道的孔徑小于干擾氣體分子的運動直徑，從而使得干擾氣體分子在分離膜的納米通道內發生大量碰撞，無法通過分離膜，從而實現對干擾氣體的阻隔，避免干擾氣體對傳感器內敏感材料的影響，提高了熱式傳感器的準確性，使熱式傳感器對目標氣體選擇性較好。
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“抗氣體干擾型MEMS氣體傳感器及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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