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擋圈及晶片研磨裝置

1024   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:11:01
本發明的擋圈(23),在將晶片(W)推壓到旋轉的研磨墊(11)上對所述晶片(W)的表面進行研磨時,不使所述晶片(W)脫離地對其周緣部進行保持,具有:將所述晶片(W)的周圍包圍、并與所述研磨墊(11)抵接的第1環(23a) 配置在該第1環(23a)的徑向外側并與所述研磨墊(11)抵接、耐磨損性比所述第1環(23a)高的環狀的第2環(23b)。能提供可防止在晶片的周緣部發生外周塌角的長壽命的擋圈。
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