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島形薄膜結構的形成方法和MEMS器件

747   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:10:02
本申請公開一種島形薄膜結構的形成方法和MEMS器件，所述形成方法包括：提供基底；提供掩模板，所述掩模板上具有通孔；將所述掩模板貼合固定于所述基底表面，所述通孔暴露出基底的部分表面；在所述通孔內以及所述掩模板表面沉積薄膜層；將所述掩模板與所述基底表面分離，在所述基底表面保留位于所述通孔內的島形薄膜結構。上述島形薄膜結構的形成方法具有工藝步驟簡單、成本低、工藝穩定性高的優點。
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“島形薄膜結構的形成方法和MEMS器件” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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