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壓電諧振器及其制作方法

843   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:10:02
本發明提供了一種壓電諧振器，包括底電極；壓電層，疊設于底電極之上；頂電極，疊設于壓電層遠離底電極的一側；聲波反射層結構，形成于底電極遠離壓電層的一側；以及，頂電極引出結構，位于壓電層遠離底電極的一側；底電極、壓電層、頂電極以及聲波反射層結構共同交疊重合形成的空間區域定義為諧振區；頂電極引出結構于諧振區內與頂電極相連，并由諧振區內延伸至諧振區外，且頂電極引出結構與頂電極向壓電層的正投影部分交疊。本發明還提供一種壓電諧振器的制作方法。與相關技術相比，本發明的壓電諧振器制作方法可以降低壓電層生長缺陷對器件性能的影響，使這種壓電諧振器結構具有更高的品質因數Q以及更高的有效機電耦合系數。
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