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旋轉鉻硅靶材

978   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:09:02
本實用新型屬于功能材料領域，涉及一種旋轉鉻硅靶材，其包括背管，背管外設有釬焊層，釬焊層外設有鉻硅合金管；背管的一端設有內密封面和卡槽，背管的另一端設有定位槽和法蘭。本實用新型安裝方便省時，在長時間的工作過程中，能夠穩定的旋轉，均勻的濺射，不會產生起弧現象，并且杜絕了氣孔和積瘤的產生；由于此靶材采用的是內密封方式，背管受力很小，幾乎不會產生變形，避免了背管變形導致的靶材開裂現象。
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