一種自清潔玻璃的制備方法及制備裝置,屬于納 米功能材料加工領域,其方法為:將 TiCl4汽化后通入玻璃退火窯爐 內所生產玻璃的上方,經熱分解在玻璃的上方沉積 TiO2薄膜,用 TiCl4和 O2作為氣體先驅體,將含N的氣 體加入,經熱分解在玻璃上沉積 TiO2薄膜。其裝置中液態的 TiCl4 (8)放置在有夾層的密閉容 器(9)中,用于通入O2的管道(3) 通過三通閥(7)一端與噴頭(12)聯通,用于通入 N2載氣的管道(4)的另一端通入 放置密閉容器(9)中液態的TiCl4 (8)中,用于通入N2的管道(1)與 用于通入O2的管道(3)的上端并 聯在一起,通過三通閥(7)一端與噴頭(12)聯通,另一端通入密 閉容器(9)中。
聲明:
“自清潔玻璃的制備方法及制備裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)