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石墨烯制備裝置及應用該裝置圖案化生長石墨烯的方法

782   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:09:02
本發明涉及一種石墨烯制備裝置及應用該裝置圖案化生長石墨烯的方法，該裝置包括：下工作臺支架、加熱器A、下工作臺、夾具、上工作臺、加熱器B、上工作臺調節機構、加熱器C、進氣法蘭、排氣法蘭（10）、腔體外層、腔體保溫層、腔體內層、進樣門；利用該裝置的石墨烯生長方法為：裝置下方載片負載液體金屬催化劑，裝置上方工作臺裝載生長基底和圖案化模板，催化劑載片、基底和生長環境獨立控制加熱溫度，利用低壓或常壓化學氣相沉積過程在基底上生長完整連續或圖案化的石墨烯層；本裝置和方法可以在多種非金屬基底上低溫生長圖案化石墨烯薄膜，避免了轉移、光刻、微加工等復雜器件制備工序，有利于簡單石墨烯功能材料和器件的批量生產。
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“石墨烯制備裝置及應用該裝置圖案化生長石墨烯的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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