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HfO2/VO2/HfO2三明治結構智能窗薄膜及其制備方法

783   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:09:01
本發明公開了一種HfO2/VO2/HfO2三明治結構智能窗薄膜及其制備方法，屬于功能材料和薄膜技術領域。所述HfO2/VO2/HfO2三明治結構智能窗薄膜的制備方法為：將無堿玻璃進行清洗、干燥；沉積之前，先將背底抽真空，沉積第一層HfO2緩沖層，然后將襯底溫度升高，并調節氧壓，沉積VO2薄膜；再將襯底溫度降低，同時將氧壓調低，開始沉積HfO2增透層，沉積完成后，即得所述HfO2/VO2/HfO2三明治結構智能窗薄膜。該HfO2/VO2/HfO2三明治結構智能窗薄膜可以保證二氧化釩薄膜具有較高太陽能調節效率（10%）的前提下，同時其可見光透過率也保持在50%左右。
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“HfO2/VO2/HfO2三明治結構智能窗薄膜及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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