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基于氧化鎵的三維日盲光電探測器

1144   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:08:02
本發明的提出了一種基于氧化鎵的三維日盲光電探測器，為高性能3D日盲光電探測器的制備和研究奠定基礎。本發明是按照下述步驟進行的：(1)清洗柔性襯底；(2)采用射頻磁控濺射技術在柔性襯底上室溫沉積a?Ga2O3薄膜；(3)在a?Ga2O3薄膜上利用熱蒸發技術在上面蒸發一層金屬薄膜；(4)采用光刻技術在有金屬薄膜的a?Ga2O3上制備電極，得到具有MSM結構的2D光電探測器陣列；(5)采用剪切折疊技術，把2D光電探測器陣列制備成3D光電探測器。本發明利用簡單的剪切和折疊技術制備3D日盲光電探測器。該制備方法工藝簡單、成本低廉，而且選用非晶Ga2O3作為日盲光響應層，有效改善了在彎折過程中，功能材料的斷裂和脫離現象。
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“基于氧化鎵的三維日盲光電探測器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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