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石墨烯壓力傳感器

1147   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:08:02
一種石墨烯壓力傳感器，主要結構由納米膜、互連電極、引線柱、基片、封裝外殼、陶瓷基座、密封環組成。檢測由納米膜、基片、互連電極組成，納米膜由上下兩層氮化硼與夾在其中的石墨烯組成，布置在基片下表面，基片上部刻蝕形成了凹形結構，下部與陶瓷基座通過金屬鍵合形成無氧真空腔，隔絕了納米膜與外界的直接接觸，為其提供無氧防護，互連電極由互連凸點鍵合互連焊盤組成，通過引線柱將檢測單元與外部相連，氮化硼/石墨烯/氮化硼三層納米薄膜既是器件的功能材料，又是其結構材料，器件最高可穩定工作于1000℃的高溫環境，重復性好、可靠性高，耐酸堿、抗腐蝕，可應用于動態、靜態高溫測試環境，顯著提升高溫區間。
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