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耐事故包殼Cr/CrN復合涂層的制備方法

1015   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:05:02
本發明公開了一種耐事故包殼Cr/CrN復合涂層的制備方法，屬于功能材料制備技術領域。本發明利用梯度反應磁控濺射技術，首先在Zr?4基底上制備一層Cr層，兩種金屬的匹配性很好，具有優異的結合力，然后通過逐漸增加濺射艙內的N2含量，先沉積亞化學計量比的CrxNy，此時涂層內既存在金屬鍵又存在離子鍵，有效的增強了結合力，最后在濺射艙內N2的含量達到一定程度時，濺射出的Cr靶材粒子會全部生成CrN，實現外層CrN的沉積，使獲得的復合涂層在保證具有較好的高溫抗氧化性能和耐磨性能的同時，大大提升了涂層的結合力，達到涂層包殼的應用要求。
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