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基于硅納米針的太赫茲波寬帶吸收材料

1112   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:05:02
本發明屬于電磁功能材料技術領域，具體提供一種基于硅納米針的太赫茲波寬帶吸收材料，用以克服現有太赫茲波吸收器件吸收帶寬窄、制作工藝復雜、器件穩定性差、制備成本高昂的缺陷；本發明太赫茲波寬帶吸收材料包括硅納米針陣列和硅襯底兩部分，所述硅納米針陣列由均勻分布于硅襯底上的若干個硅納米針構成，硅納米針垂直設置于硅襯底表面；所述硅納米針陣列和硅襯底為同一材料，均采用n型或p型重摻雜半導體硅、其電阻率≤0.1Ω·cm。通過該硅納米針陣列結構制作的太赫茲波吸收材料，結構簡單，在0.2THz～1.2THz范圍內，對太赫茲波的吸收率高達90％；采用簡易金屬輔助的化學刻蝕方法制備，制備工藝簡單，成本低廉。
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“基于硅納米針的太赫茲波寬帶吸收材料” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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