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基于化學法制備自支撐BaTiO3單晶薄膜的工藝

783   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:05:02
本發明屬于信息功能材料、功能薄膜和柔性電子技術領域，涉及一種基于化學法制備自支撐BaTiO3單晶薄膜的工藝，該工藝為：在不同單晶基片上，采用化學旋涂的方式首先在基片上外延生長Sr3Al2O6/BaTiO3結構；利用Sr3Al2O6的可溶于水的特性，將其浸泡在去離子水中12h小時以上，充分溶解即可得到自支撐BaTiO3單晶薄膜。本申請可以通過控制前驅液濃度、旋涂轉速、退火次數調控單晶薄膜厚度；在使用化學旋涂法生長BaTiO3單晶薄膜過程中不會對Sr3Al2O6薄膜層造成損害。該方法適用于大面積柔性功能層的剝離，對全化學法制備自支撐氧化物鈣鈦礦單晶薄膜具有重要意義。
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“基于化學法制備自支撐BaTiO3單晶薄膜的工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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