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磁電聲表面波磁場傳感器及其制備方法

1177   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:05:02
一種磁電聲表面波磁場傳感器及其制備方法，屬于電子功能材料與器件技術領域，包括磁致伸縮基底，還包括金屬緩沖層及壓電薄膜，所述金屬緩沖層的材質為金屬鈦或鉻，所述金屬緩沖層位于磁致伸縮基底與壓電薄膜之間，壓電薄膜上表面設有具有雙端口的叉指換能器，叉指換能器與壓電薄膜一起構成聲表面波諧振器；所述叉指換能器包括輸入電極、輸出電極、位于輸入電極外側的輸入端反射柵和位于輸出電極外側的輸出端反射柵；所述壓電薄膜的厚度范圍為0.3～1μm，磁致伸縮基底的厚度大于2倍的聲表面波波長。采用高度取向的壓電薄膜、單軸各向異性和巨楊氏模量效應的磁致伸縮帶材，實現傳感器微型化，靈敏度高，一致性好，制備方法簡單，適用于對磁場進行探測。
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