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化學氣相沉積金剛石或其它物質的裝置

1017   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:03:01
本發明提供了一種化學氣相沉積金剛石或其它物質的裝置,涉及功能材料制備技術領域。本裝置包括直流電弧噴射等離子炬,真空室,襯底,在真空室和等離子炬間設有氣體回用機構。與已有技術對比,本發明很好地解決了現有技術利用直流電弧噴射法化學氣相沉積金剛石過程中長期存在的氣體消耗量大的問題,其結構簡單,工藝合理,不僅能保證產品的質量,而且可大大節省工質氣體用量,大大降低成本,減少排放,有利于環保,具有良好的經濟效益和社會效益。
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