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基于電流體應用的器件陣列及其制作裝置、制作方法

786   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:31
本發明提供了基于電流體應用的器件陣列及其制作裝置、制作方法，包括：產生系統，所述產生系統用于將生成的聲表面駐波作用于功能材料溶液，以使所述功能材料溶液的表面形成液體尖峰陣列；定位系統，所述定位系統用于將目標基板移動至所述功能材料溶液的液體尖峰處；以及電源，所述電源的兩端分別連接至所述目標基板、產生系統，使所述液體尖峰陣列在電場、重力及表面張力的作用下形成泰勒錐并產生射流后轉印至所述目標基板；當停止對所述產生系統與目標基板施加電場后，液體尖峰陣列的泰勒錐立刻消失，停止噴射。通過泰勒錐射流的方式，可實現納米至微米級圖案的噴涂，并且圖案的均一性不易受目標基板彎曲度的影響。
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聲明：
“基于電流體應用的器件陣列及其制作裝置、制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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