合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 材料制備及加工技術

> 功能材料技術

> MEMS器件及其制備方法、電子裝置

MEMS器件及其制備方法、電子裝置

783   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:31
本發明涉及一種MEMS器件及其制備方法、電子裝置。所述方法包括步驟S1：提供基底，在所述基底上形成有尺寸小于所述基底的功能材料層，以形成臺階形結構，在所述基底上和所述功能材料層的側壁上形成有頂角變圓的緩沖層；步驟S2：在所述緩沖層和所述功能材料層上形成覆蓋層，以覆蓋所述功能材料層；步驟S3：在所述覆蓋層上交替地形成第一金屬層和第二金屬層，以形成至少包含4層的金屬疊層結構。本發明所述方法具有如下的優點：1)通過添加氧化物OX獲得圓化頂角(corner?rounding)效果的同時減小上層金屬膜的應力，解決了縫隙孔洞(seam?void)的問題；2)由于對應力有所改變，也降低了后續可能造成的分層問題；3)對于后續制程沒有帶來其他的副作用。
登錄解鎖全文
聲明：
“MEMS器件及其制備方法、電子裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
功能材料
上一個：通用型化學生物傳感信號指數級放大方法
下一個：污水處理廠厭氧強化生物除磷的技術方法

與 “MEMS器件及其制備方法、電子裝置” 相關技術

? 固態電池封裝用耐高壓聚氨酯材料及其制備工藝
? 全固態電池及其制備方法、用電設備
? 環保材料攪拌裝置
? 化工材料加工用的臥式反應釜
? 鋁基復合材料半連續鑄棒的制備裝置及方法
? 環氧硅烷偶聯劑改性粉煤灰/聚氨酯復合材料及其制備方法
? 尾礦濃密充填系統及充填工藝
? 環保型聚合氯化鋁絮凝劑
? 自動化大型鋅鍋撈渣機
? 立軸巖心鉆機用動力頭

相關功能材料設備推薦

鋁門窗端面銑床(外掛五刀、內置五刀)
大型臥式加工中心
圓柱動力電池PACK自動化生產線
軟包自動注液機
四工位數控連續銑床
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?固態電池封裝用耐高壓聚氨酯材料及其制備工藝
?全固態電池及其制備方法、用電設備
?環保材料攪拌裝置
?化工材料加工用的臥式反應釜
?鋁基復合材料半連續鑄棒的制備裝置及方法
?環氧硅烷偶聯劑改性粉煤灰/聚氨酯復合材料及其制備方法
?尾礦濃密充填系統及充填工藝
?環保型聚合氯化鋁絮凝劑
?自動化大型鋅鍋撈渣機
?立軸巖心鉆機用動力頭

報名參會
更多+

第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
2025年07月09日 ~ 11日
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
2025年07月11日 ~ 13日
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國稀有&貴金屬礦冶技術交流會
2025全國稀有&貴金屬礦冶技術交流會
2025年07月17日 ~ 19日

報告下載

1 鋰離子電池正極材料磷酸錳鐵鋰的
下載:233
2 磷酸(錳)鐵鋰材料的發展及動力電
下載:129
3 磷酸鐵鋰材料與電池體系的發展方
下載:125
4 廢舊動力電池磷酸鐵鋰材料再資源
下載:122
5 磷酸鐵鋰的產業化與回收前景分析
下載:117
6 西藏鹽湖鋰資源和開發利用
下載:101
7 高倍率磷酸鐵鋰電池的研究與進展
下載:96
8 高能量密度磷酸鐵鋰電池的技術路
下載:92
9 磷酸鐵鋰材料性能改善研究
下載:83
10 回收磷酸鐵鋰性能的修復及其電池
下載:74
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1智能耳穴調節裝置
2《高強韌微納米金屬陶瓷材料關鍵技術開發與應用》——鄧瑩
3鋁箔化成反應過程中的數據管理方法
4制備碳/碳復合材料的濕法針刺工藝
5改性生物炭及其制備方法和應用
6粉末冶金材料及其制備技術現狀與新動向
7硅羥基磁珠及其合成方法、應用
8金剛石-碳化硅復合材料、制備方法以及電子設備
9石英纖維/炭纖維增強炭基復合材料坩堝及其制備方法
10鈷酸銅催化電極材料及其在硝酸根還原制氨中的應用
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX