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帶有中間電極的柔性壓電傳感/驅動兩用器件及其制備方法

877   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:31
本發明公開了一種帶有中間電極的柔性壓電傳感/驅動兩用器件及其制備方法。該柔性壓電傳感/驅動兩用器件包括帶有中間電極的柔性壓電功能材料層、側向引出電極和柔性絕緣封裝層；其器件結構由上至下具體布局為：上柔性絕緣封裝層、柔性壓電功能材料層、左右側向引出電極、下柔性絕緣封裝層。該柔性壓電功能材料由沿縱、橫陣列布置的微米壓電陶瓷柱、柔性中間電極以及聚合物粘接劑組成。該傳感/驅動兩用器件的制備方法主要包括對壓電功能材料的制備方法、側向引出電極制備與裝配方法以及兩用器件封裝方法。本發明的帶有中間電極的柔性壓電功能材料，垂直中間電極方向對壓電陶瓷柱進行極化，在傳感與驅動時有效采用壓電陶瓷柱d33壓電常數，極大地增強了壓電功能材料的傳感/驅動敏感度，器件整體結構緊湊、柔韌性好、性能穩定。既能很好地與曲面結構耦合作為應力/應變傳感器，亦可輸入激勵信號進行主動振動抑制驅動器。
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