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塊體硅功能材料的合成方法

1011   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 15:02:28
本發明公開了一種塊體硅功能材料的合成方法,該方法具體包括以下步驟:(1)將高純硅樣品進行破碎和研磨,得到均勻硅粉;(2)在保護氣氛圍下,將步驟(1)中得到的硅粉裝于模具中,并采用壓片機壓制成預壓坯,將預壓坯封裝到高壓模具中,并在真空干燥箱中除去水汽;(3)將高壓模具置于壓機腔體中,在設定壓力下進行合成,控制合成溫度,保溫一段時間后降溫卸壓,除去樣品表面雜質,獲得塊體硅功能材料。本發明工藝簡單,合成的硅功能材料的微結構有別于常規的硅材料,將帶給這種材料新的電學、光學性質。未來可作為制備新一代電子元件、光電器件的材料。
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