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加熱裝置、真空加熱方法和薄膜制造方法

957   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:22
一種加熱裝置，其具備：應在真空中被加熱的被加熱體；構成為能夠從被加熱體分離、并且在自身與被加熱體之間形成有間隙的加熱體；和用于向間隙導入傳熱氣體的氣體導入路徑。被加熱體通過傳熱氣體由加熱體加熱。加熱裝置的例子是蒸著裝置（30）。被加熱體的例子是保持蒸鍍材料，并且具有供蒸發了的蒸鍍材料通過的開口部的貯藏容器（9）。加熱體的例子是可拆裝地收納貯藏容器（9）、并且為了對貯藏容器（9）內的蒸鍍材料進行加熱而具有加熱器（20）的加熱容器（10）。氣體導入路徑的例子是氣體導入管（11）。
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