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采用燒結工藝制造高壓大功率晶閘管的方法

822   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:02
本發明涉及一種采用燒結工藝制造高壓大功率晶閘管的方法，包括以下步驟：工藝環境準備、超聲波清洗、硅片漂洗、清洗石英架、石英砣、硅片鋁擴散、硅片硼擴散、氧化、一次光刻、磷擴散、割圓、燒結、蒸發、合金、二次光刻、噴砂磨角、旋轉腐蝕涂膠保護、測試封裝。與現有技術相比，本發明的有益效果是：芯片制造采用硼、鋁兩次擴散，保證PN結前沿平緩；新型燒結技術保證燒結變形小，粘接牢固，保證擴散參數穩定不變；采用超凈工藝環境，精細清洗方法，優質清洗試劑保證長的少子壽命；采用電腦控制擴散，機械磨角、噴角，保證產品參數一致性，使用可靠；制造成本低，成品率高，各項技術性能達到進口同類產品水平。
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“采用燒結工藝制造高壓大功率晶閘管的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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