本發明公開了一種鈦硅鉬合金靶材及其制備方法,其制備方法包括:將硅粉和鉬粉在真空或高純氬氣保護下混合;將混合后的鉬?硅粉末燒結,獲得鉬硅合金塊;將所述鉬硅合金塊破碎成鉬硅合金粉;將鈦粉與所述鉬硅合金粉在真空或高純氬氣保護下混合;將混合均勻的所述鈦粉與所述鉬硅合金粉進行冷等靜壓壓制,獲得鈦硅鉬合金坯料;將所述鈦硅鉬合金坯料裝入包套中,進行脫氣處理;將經脫氣處理的包套封焊后,通過熱等靜壓燒結獲得合金錠坯;將壓制后的所述合金錠坯依次進行機加工和清洗,獲得鈦硅鉬合金靶材。本發明制得的鈦硅鉬合金靶材具有致密度高、無氣孔和偏析,組織均勻,晶粒細小,規格尺寸多等優點。
聲明:
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