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有機無機雜化復合材料的氣體傳感器制備方法

1169   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:00:02
本發明屬于氣體敏感型傳感器領域，具體是涉及一種基于有機無機雜化復合材料的氣體傳感器的制備方法。本發明主要是為了解決基于無機氣敏材料的半導體氣體傳感器選擇性差、工作溫度高，而基于有機氣敏材料的半導體氣體傳感器靈敏度低，響應慢的問題，提出了一種基于有機無機雜化復合材料的氣體傳感器制備方法，包括：一、無機氣敏材料二氧化錫的制備；二、有機氣敏材料聚合物聚苯胺的制備；三、MEMS氣體傳感器器件制備；四、氣敏材料滴涂與器件燒結；本發明制備的氣敏材料比無機氣敏材料選擇性好、工作溫度低，比有機氣敏材料靈敏度高，制備的微型器件溫度分布均勻、功耗低，可用于氣體傳感器的加熱裝置。
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“有機無機雜化復合材料的氣體傳感器制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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