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電子束蒸發技術制備碳化硼薄膜的方法

1136   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:00:01
一種電子束蒸發技術制備碳化硼薄膜的方法，將碳化硼膜料放到電子束蒸發設備的坩堝中，將清洗、干燥后的基片放到電子束蒸發設備的加熱電爐上，使基片位于坩堝正上方20cm～30cm處；在真空條件進行鍍膜，鍍膜真空度不小于6.0×10－3Pa，基片溫度控制在室溫～450℃，調節電子束使其聚焦到膜料上的斑點最小，控制束流值在100mA～180mA，沉積時間為5min～120min。此種方法既可制備非晶態碳化硼薄膜，又可制備多晶結構的碳化硼薄膜，還可制備各種不同B、C成分配比的碳化硼薄膜，而且所制備的碳化硼薄膜表面光滑、薄膜致密、均勻性良好。
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