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高致密低電阻氧化鈮旋轉靶材及其制備方法

1252   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:58:54
一種高致密低電阻氧化鈮旋轉靶材及其制備方法，該靶材密度≥4.5g/cm3，電阻率≤1.4×10?3Ω·cm，長度≥400mm，壁厚6—14mm。制備方法包括以下步驟：1）粉末混合：將氧化鈮粉末與金屬鈮粉進行機械混合均勻；2）粉末預燒：對步驟1）中混合后粉末進行真空預燒；3）粉末處理：對預燒粉末進行球磨處理；4）冷等靜壓成型：對處理粉末裝入模具中冷等靜壓預壓成型旋轉靶材坯體；5）坯體車削加工：對靶材坯體進行車削加工；6）真空熱壓燒結：對加工坯體置入石墨模具中進行熱壓真空燒結；7）靶坯加工：對燒結旋轉靶材靶坯按尺寸加工，即得到高致密低電阻旋轉氧化鈮靶材。該靶材導電性較好，具有較好的物理和化學性能，有效提高靶材產品質量。
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