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高純、高致密、大尺寸鉬鈦合金濺射靶材的制備方法

913   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:58:54
本發明公開了一種高純、高致密、大尺寸鉬鈦合金濺射靶材的制備方法，包括如下步驟：（1）混料：選擇鉬和氫化鈦作為粉體原料，兩種粉體在氬氣保護氣氛中進行混合得到合金粉末；（2）壓制成型：將混合好的粉體原料裝入膠套模具中進行冷等靜壓處理；（3）燒結：將壓制毛坯在真空燒結爐中進行第一階段脫氫燒結和第二階段致密化燒結，最終得到燒結毛坯；（4）軋制；（5）退火；（6）機械加工：將退火之后的靶材毛坯進行機械加工得到鉬鈦合金濺射靶材產品。本發明生產的鉬鈦合金濺射靶材成分均勻、無偏析、晶粒細小、純度高、致密性好。
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“高純、高致密、大尺寸鉬鈦合金濺射靶材的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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