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錫酸鎘靶材及其制備方法

1020   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:58:02
本發明涉及一種錫酸鎘靶材及其制備方法，屬于陶瓷靶材技術領域。該錫酸鎘靶材的組成為Cd2SnO4和CdSnO3，其中Cd2SnO4的含量大于95w％。本發明以SnO2粉和CdO粉為原料粉制成的Cd2SnO4單相粉體為原料，采用熱壓燒結工藝，不添加任何添加劑，并且在熱壓工藝中采用兩段式溫度，進行低溫真空燒結，高溫氬氣保護燒結，制得致密的錫酸鎘陶瓷靶材。該靶材中Cd2SnO4含量大于95w％，相對密度達到80～95％，電阻率達到1～6×10-4Ω·cm。
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