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濺射靶材用鉬鈮合金板的制備方法

1143   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:58:01
本發明公開了一種濺射靶材用鉬鈮合金板的制備方法,該方法為:一、將鈮粉和費氏平均粒度為3μm～8μm的鉬粉按照1∶9的質量比置于混料機中混合得到混合料;二、對混合料進行振動壓制,得到鉬鈮合金粉末壓坯;三、將鉬鈮合金粉末壓坯置于真空燒結爐內燒結,制得鉬鈮合金板坯;四、對鉬鈮合金板坯進行機械切割,得到所需尺寸的濺射靶材用鉬鈮合金板。本發明的方法工藝流程簡單,易于實現工業化生產,成品率高,制備過程不會產生任何廢料、廢酸等污染物。采用本發明的方法制備的鉬鈮合金板的密度不低于9.85g/cm3,滿足濺射靶材的要求。
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