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重稀土金屬靶材修復方法

1129   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:58:01
本發明提供了一種重稀土金屬靶材修復方法，屬于磁控濺射表面處理技術領域。本發明提供的重稀土金屬靶材修復方法，包括以下步驟：將合金粉填充到待修復靶材的損耗區，采用真空燒結法或高壓冷噴涂法進行修復；所述合金粉包括鏑鋱合金，或者，鏑鋱的一種或兩種和兩性金屬中的一種或兩種。本發明以合金粉為修復材料，采用真空燒結法或高壓冷噴涂法進行修復，合金粉起到了釬焊作用，降低了后續靶材修復時的燒結溫度，而且降低了磁片鍍膜后的擴散溫度，降低了修復難度和成本。本發明修復后的靶材組織有效解決了現有靶材表面產生缺陷后無法再利用的問題；且工藝簡單、周期短、使用效果接近新靶材，具有良好的應用價值。
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聲明：
“重稀土金屬靶材修復方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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